1、化學(xué)清洗
在半導(dǎo)體器件的工藝實驗中，化學(xué)清洗是指去除吸附在半導(dǎo)體、金屬材料和電器表面的各種有害雜質(zhì)或油漬。清洗方法是利用各種化學(xué)試劑和有機助熔劑溶解被清洗物表面吸附的雜質(zhì)和油脂，或通過超聲波等物理措施使被清洗物表面的雜質(zhì)脫附，加熱，抽真空，然后使用大量高純度的冷熱去離子水沖洗，以獲得清潔的表面。
2.化學(xué)清洗的重要性
過程中的每一個實驗都有化學(xué)清洗的問題。化學(xué)清洗的質(zhì)量嚴重影響實驗結(jié)果。如果處理不當(dāng)，實驗結(jié)果將不可用或不好。因此，明確化學(xué)清洗的作用和原理具有重要意義。眾所周知，半導(dǎo)體的一個重要特性是對雜質(zhì)非常敏感。只要有百萬分之一甚至少量的雜質(zhì)，就會影響半導(dǎo)體的物理性能。我們利用這一特性通過摻雜制造具有各種功能的半導(dǎo)體器件。然而，由于這一特點，給半導(dǎo)體器件的工藝實驗帶來了麻煩和困難。使用過的化學(xué)試劑、生產(chǎn)工具、清洗水等都可能成為有害雜質(zhì)的污染源。即使干凈的半導(dǎo)體晶圓長時間暴露在空氣中，也會造成明顯的雜質(zhì)污染。化學(xué)清洗是去除有害雜質(zhì)，保持硅片表面清潔。
3、化學(xué)清洗的范圍
化學(xué)清洗主要包括三個方面：一是清洗硅片表面；二、清洗用過的金屬材料（如蒸發(fā)電極用鎢絲、蒸發(fā)墊用鉬片、蒸發(fā)源用鋁合金、鉻板用鉻等）；三是清潔工具和器具（如金屬鑷子、石英管、玻璃容器、石墨模具、塑料和橡膠制品等）。
4、工業(yè)化學(xué)清洗的應(yīng)用類別
化學(xué)清洗行業(yè)的發(fā)展不僅為全社會提供有效的技術(shù)服務(wù)，而且成為社會文明的重要標(biāo)志。隨著工業(yè)化和現(xiàn)代化的進程以及社會生產(chǎn)和日常生活的需要，化學(xué)清洗得到了廣泛的應(yīng)用。